เมื่อธุรกิจหรืออุตสาหกรรมของคุณต้องใช้งานห้องคลีนรูม (Cleanroom) สิ่งสำคัญที่จำเป็นจะต้องทำคือการทดสอบและยืนยันว่าห้องสะอาดหรือห้องปลอดเชื้อที่สร้างหรือกำลังใช้งานอยู่มีคุณภาพตรงตามมาตรฐานที่กำหนด เช่น มาตรฐาน ISO 14644 หรือมาตรฐานอื่น ๆ ที่เกี่ยวข้อง ดังนั้นการใช้บริการทดสอบห้องคลีนรูม (Cleanroom Testing) จากผู้เชี่ยวชาญหรือมืออาชีพที่ได้รับการรับรองมาตรฐานอย่างถูกต้องจึงเป็นทางเลือกที่ดีเพื่อให้แน่ใจว่าห้องคลีนรูมของคุณมีประสิทธิภาพพร้อมใช้งานอย่างเต็มที่ และตรงตามความต้องการของอุตสาหกรรมนั่นเอง 

 

“Q&E INTERNATIONAL” เราคือผู้ให้บริการทดสอบห้องคลีนรูมหรือตรวจสอบคุณภาพอากาศภายในห้องคลีนรูม ที่รู้จักกันว่า Cleanroom Performance Testing (CPT) ซึ่งเป็นการทดสอบประสิทธิภาพห้องคลีนรูมโดยมุ่งเน้นการควบคุมสภาพแวดล้อมภายในห้องสะอาดให้เหมาะสมกับการใช้งานและเป็นไปตามมาตรฐาน ISO 14644 โดยการทดสอบ CPT เป็นมาตรฐานที่ใช้ในการทดสอบโดย NEBB สถาบันที่มีชื่อเสียงและเป็นที่ยอมรับในระดับนานาชาติจากประเทศสหรัฐอเมริกา

และในวันนี้เราจะพาทุกท่านไปเจาะลึกกับ 9 ขั้นตอนการทดสอบห้องคลีนรูม (CPT) ของเรา Q&E INTERNATIONAL เพื่อเป็นแนวทางสำหรับผู้ที่ต้องการทราบรายละเอียดเกี่ยวกับกระบวนการทดสอบห้องคลีนรูมให้คุณเตรียมพร้อมและเข้าใจแต่ละขั้นตอนการทดสอบได้อย่างชัดเจน โดยกระบวนการทดสอบจะแบ่งออกเป็น 2 ประเภท ได้แก่ การทดสอบเบื้องต้น (Primary Tests) และ การทดสอบเพิ่มเติม (Secondary Tests)

 

การทดสอบห้องคลีนรูมเบื้องต้น (Primary Test) 

การทดสอบห้องคลีนรูมแบบเบื้องต้น (Primary Test) จะมุ่งเน้นไปที่การวัดปริมาณอนุภาคฝุ่นละอองในอากาศ โดยข้อมูลที่ได้จากการทดสอบนี้จะนำไปใช้ในการจัดประเภทห้องคลีนรูมตามมาตรฐาน ISO 14644 โดยการทดสอบหลักของเราจะประกอบไปด้วยรายการดังต่อไปนี้ ได้แก่

1. การทดสอบปริมาณการไหลเวียนของอากาศ (Airflow Velocity, Volume and Air Change Rate) 

การทดสอบปริมาณการไหลเวียนของอากาศ (Air Volume Test) เพื่อตรวจสอบอัตราการไหลเวียนและความสม่ำเสมอของอากาศที่ไหลเวียนผ่าน HEPA Filter ภายในห้องสะอาด (Cleanroom) โดยมีขั้นตอนการตรวจสอบดังนี้

1. ตรวจสอบความสมบูรณ์ของการทำงานในระบบการจัดการอาคารภายในห้องคลีนรูม พร้อมปรับสมดุลแรงลมของ HEPA Filter 
2. ตรวจสอบความผิดปกติของการทำงานในระบบการจัดการอาคาร และตรวจเช็คว่าประตูทุกบานภายในห้องปิดอยู่เพื่อหลีกเลี่ยงอัตราการไหลของแรงลมที่ไม่นิ่งภายในห้อง
3. ตรวจวัดการไหลของอากาศโดยการใช้อุปกรณ์ Flow Hood ให้แนบไปกับโครงของแผ่นกรอง HEPA Filter เพื่อป้องกันการรั่วซึมของอากาศสำหรับการอ่านค่าที่วัดได้
4. บันทึกผลลัพธ์ที่อ่านค่าได้จากอุปกรณ์ Flow Hood
5. วัดขนาดและคำนวณหาปริมาตรภายในของแต่ละห้อง 
6. คำนวณหาอัตราการไหลเวียนของอากาศ โดยการใช้ปริมาตรของห้องคลีนรูมหารกับปริมาณการไหลเวียนของอากาศทั้งหมดภายในห้อง

 

2. การทดสอบรอยรั่วของแผ่นกรองอากาศ (HEPA Filter Installation Leak Test, Overall Leak Test) 

การทดสอบรอยรั่วของแผ่นกรองอากาศ (HEPA Filter Installation Leak Test) เพื่อตรวจดูการรั่วซึมที่อาจเกิดขึ้นระหว่างการติดตั้งแผ่นกรองอากาศและเพื่อยืนยันว่าแผ่นกรองอากาศที่ติดตั้งไม่มีตำหนิหรือมีรอยรั่วเกิดขึ้นเพื่อป้องกันไม่ให้อากาศจากบริเวณอื่นสามารถไหลผ่านเข้ามาได้ โดยมีขั้นตอนการตรวจสอบดังนี้

1. เตรียมเครื่องจำลองอนุภาคละอองในอากาศด้วยเครื่องกำเนิดละอองลอย (Aerosol Generator)
2. ตรวจสอบการรั่วไหลด้วยเครื่องโฟโตมิเตอร์ (Photometers) ที่มีการเชื่อมต่อ 2 สาย ได้แก่ สายที่เชื่อมต่อระหว่างพอร์ต Upstream ของเครื่องโฟโตมิเตอร์กับระบบกรองอากาศ และสายที่เชื่อมต่อระหว่างพอร์ต Downstream ของเครื่องโฟโตมิเตอร์กับปลายโพรบสแกน
3. ปล่อยอนุภาคจำลองเข้าไปในระบบตัวกรองอากาศ โดยใช้เครื่องโฟโตมิเตอร์ดูค่าความเข้มข้นจากจุด Upstream และปรับความเข้มข้นให้อยู่ระหว่าง 20 – 80 ไมโคกรัม/ลิตร
4. ปรับค่าความเข้มข้นให้อยู่ในช่วงที่กำหนด แล้วตั้งค่าที่ได้เป็นค่าอ้างอิงสำหรับเครื่องโฟโตมิเตอร์
5. ตั้งค่าเครื่องโฟโตมิเตอร์ให้แสกนหาความเข้มข้นที่โหมด Downstream โดยถือโพรบให้ห่างจากจุดสแกนประมาณ 25 มม. ในความเร็ว 5 ซม./วินาที โดยค่าที่ยอมรับได้จะกำหนดไว้ไม่ควรเกิน 0.01% ของค่า Upstream
6. หากตรวจพบการรั่วไหลจะมีการระบุจุดรั่วไหลที่ได้รับการยืนยันทุกจุด และดำเนินการทดสอบซ้ำอีกครั้งหลังจากแก้ไขจุดบกพร่องเรียบร้อยแล้ว

 

นอกจากนี้ยังการการทดสอบรอยรั่วของแผ่นกรองอากาศแบบ Overall Leak Test เพื่อตรวจสอบรอยรั่วของแผ่นกรองอากาศในเครื่องส่งลมเย็นที่ไม่สามารถเข้าตรวจสอบในระยะใกล้ได้ โดยมีขั้นตอนการตรวจสอบดังนี้

1. ตรวจสอบความสมบูรณ์ของระบบปรับอากาศและระบบระบายอากาศ (HVAC) ก่อนเริ่มทำการทดสอบ
2. ปล่อยอนุภาคฝุ่นจำลองบริเวณทางเข้าของระบบตัวกรองอากาศโดยใช้เครื่องโฟโตมิเตอร์ (Photometers) วัดความเข้มข้นของจุด Upstream โดยปรับความเข้มข้นให้อยู่ในระหว่าง 20 – 80 ไมโคกรัม/ลิตร
3. ตั้งค่าเครื่องโฟโตมิเตอร์เพื่อวัดค่าความเข้มข้นที่จุด Downstream โดยให้ระยะโพรบหรือหัววัดห่างจากด้านหน้าแผ่นกรองอากาศระยะ 1 เมตรหรืออย่างน้อย 10 เท่าของเส้นผ่านศูนย์กลางท่อ และค่าที่วัดได้ต้องไม่เกิน 0.03% ของจุด Upstream
4. บันทึกค่าการรั่วไหลและจัดทำรายงาน  

 

3. การทดสอบแรงดันอากาศภายในห้อง (Room Pressurization Test)

การทดสอบแรงดันอากาศของห้องคลีนรูม (Room Pressurization Test) เพื่อตรวจสอบความสามารถของระบบการจัดการอาคารภายในห้องสะอาดเพื่อรักษาแรงดันภายในห้องให้อยู่ในขอบเขตที่กำหนดไว้ โดยมีขั้นตอนการทดสอบดังนี้

1. ทำการปรับสมดุลอัตราการไหลของอากาศก่อนเริ่มการทดสอบแรงดันอากาศภายในห้อง
2. ปิดประตูห้องทุกบานรวมถึงพื้นที่อ้างอิงตลอดระยะเวลาของการทดสอบแรงดันอากาศ
3. วัดค่าความแตกต่างของแรงดันระหว่างห้องสะอาดที่อยู่ติดกันหรือระหว่างห้องสะอาดกับโถงทางเดิน 
4. ตรวจสอบให้แน่ใจว่าไม่มีคนเดินพลุกพล่านหรือเปิดประตูเข้า-ออกห้องคลีนรูมระหว่างการทดสอบ แล้วจึงบันทึกผลลัพธ์ที่วัดค่าได้

 

4. การทดสอบจำนวนอนุภาคในอากาศ (Airborne Particle Count Test)

การทดสอบจำนวนอนุภาคในอากาศเพื่อวัดปริมาณฝุ่นหรืออนุภาคในอากาศที่อยู่ในห้องปลอดเชื้อ รวมถึงเพื่อกำหนดระดับความสะอาดของห้องคลีนรูม โดยอ้างอิงการจำแนกประเภทของอนุภาคตามมาตรฐาน ISO 14644-1 ในเวลาที่ทำการทดสอบภายใต้สภาวะ As Built (ตอนก่อสร้างห้องคลีนรูม) At Rest (ตอนติดตั้งเครื่องมือและเครื่องจักรภายในห้อง) และ In Operation (ตอนใช้งานห้องคลีนรูม) โดยมีขั้นตอนในการทดสอบดังนี้

1. ตรวจสอบความสมบูรณ์และการทำงานอย่างเป็นปกติของระบบการทำงานภายในห้องสะอาด เช่น ระบบการไหลเวียนอากาศ ระบบกรองอากาศ ผนัง เพดาน พื้น หรือประตู เป็นต้น 
2. ห้องคลีนรูมจะต้องทำความสะอาดอย่างน้อย 12 ชั่วโมงก่อนเริ่มทำการทดสอบจำนวนอนุภาคในอากาศ
3. กำหนดจุดทดสอบในแต่ละห้องตามขนาดของพื้นที่โดยวัดตามขั้นตอนของมาตรฐาน ISO 14644-1 
4. จุดวัดฝุ่นจะถูกตั้งไว้ที่ 1 ลูกบาศก์ฟุตต่อนาที (CFM) และเวลาสุ่มตัวอย่างตั้งไว้ที่ 1 นาที
5. ตำแหน่งวัดฝุ่นควรตั้งอยู่ที่ศูนย์กลางของแต่ละจุดที่กำหนดไว้ที่ระยะความสูง 1 เมตรเหนือพื้นห้อง 

 

การทดสอบห้องคลีนรูมเพิ่มเติม (Secondary Test) 

การทดสอบห้องคลีนรูมแบบเพิ่มเติม (Secondary Test) จะมุ่งเน้นไปที่การวัดและประเมินคุณสมบัติอื่น ๆ ของห้องคลีนรูม ที่เกี่ยวข้องกับสภาพแวดล้อมในการใช้งานจริง โดยการทดสอบของเราจะประกอบไปด้วยรายการทดสอบดังต่อไปนี้ ได้แก่

5. การทดสอบความขนานของกระแสลม (Airflow Parallelism Test) และการทดสอบการแสดงภาพการไหลของอากาศ (Airflow Visualization Test)  

การทดสอบความขนานของกระแสลม (Airflow Parallelism Test) คือการตรวจสอบทิศทางการไหลของอากาศและความสม่ำเสมอในการไหลให้เป็นไปตามข้อกำหนดของการออกแบบและประสิทธิภาพการใช้งานห้องสะอาด โดยมีขั้นตอนการทดสอบดังนี้

1. แบ่งพื้นที่ห้องสะอาดออกเป็นตารางการทดสอบให้มีขนาดเท่ากันที่ 3 x 3 เมตร
2. ใช้เส้นด้ายแขวนบริเวณด้านหน้าแผ่นกรองอากาศ HEPA Filter ตามตำแหน่งที่ต้องการทดสอบแต่ละจุด และจะต้องเว้นระยะห่างตามตารางการทดสอบทั่วทั้งห้องคลีนรูม
3. วัดการเบี่ยงเบนจาก HEPA Filter ในแนวตั้งที่ 90 องศา และสูงจากพื้น 915 มม.
4. บันทึกทิศทางของการเบี่ยงเบนที่วัดค่าได้

 

และอีกหนึ่งการทดสอบการแสดงภาพการไหลของอากาศ (Airflow Visualization Test) มีขั้นตอนการทดสอบดังนี้

1. ก่อนเริ่มการทดสอบจะต้องปรับสมดุลความเร็วและอัตราการไหลของอากาศให้เสร็จสิ้นก่อน
2. วางตำแหน่งโพรบของเครื่องจำลองควันในแนวนอนที่ระยะห่าง 75 มม. จากบริเวณหน้าแผ่นกรองอากาศ HEPA Filter
3. ปล่อยให้ควันไหลลงบริเวณด้านล่างอย่างอิสระและใช้กล้องวิดีโอเพื่อจับภาพรูปแบบการไหลของอากาศเอาไว้

 

 6. การทดสอบการฟื้นตัวของระดับความสะอาดภายในห้อง (Room Recovery Test)

การทดสอบการฟื้นตัวของระดับความสะอาดภายในห้อง (Room Recovery Test) หรือการทดสอบเพื่อหาระยะเวลาที่ใช้ในการกลับคืนมาสู่ระดับควาามสะอาดของห้องคลีนรูม หลังจากมีการปนเปื้อนของอนุภาคในอากาศ หรือเกิดการสูญเสียสภาวะการทำงานปกติ โดยมีขั้นตอนในการทดสอบดังนี้

1.  ตรวจสอบการทำงานของระบบปรับอากาศ (HVAC)
2. เลือกตำแหน่งในการตรวจวัด โดยเลือกจากพื้นที่ที่เป็นมุมอับของห้องสะอาดหรือจุดที่มีอนุภาคฝุ่นขนาด 0.5 ไมครอนมากที่สุด
3. เปิดเครื่องกำเนิดละอองอนุภาค เพื่อสร้างอนุภาคขนาด 0.5 µm รอบบริเวณที่ตั้งทำการทดสอบ และเพิ่มความเข้มข้นของอนุภาคเริ่มต้นอย่างน้อย 100 เท่า 
4. จากนั้นปิดเครื่องกำเนิดละอองอนุภาค และบันทึกค่าอนุภาคที่นับได้ตามช่วงเวลา 1 นาที จนกระทั่งระดับความสะอาดกลับคืนสู่สภาพเริ่มต้น

 

7. การทดสอบอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ (Temperature and Relative Humidity Test)

การตรวจวัดค่าอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ภายในห้องคลีนรูมให้ได้ตามเกณฑ์ที่กำหนด เพื่อตรวจสอบความสามารถของระบบจัดการอากาศภายในห้องสะอาด เพื่อรักษาอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์ในขอบเขตที่กำหนดไว้ โดยมีขั้นตอนการทดสอบดังนี้

1. ปรับสมดุลอัตราการไหลของอากาศก่อนเริ่มทำการทดสอบอุณหภูมิและความชื้นสัมพัทธ์
2. ปล่อยให้ระบบปรับอากาศทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นเวลาอย่างน้อย 12 ชั่วโมงก่อนเริ่มทำการทดสอบ
3. แบ่งห้องสะอาดเป็นจุดทดสอบที่มีขนาดไม่เกิดจุดละ 40 ตารางเมตร
4. ตรวจสอบมิเตอร์ให้อยู่ในตำแหน่งกึ่งกลางของจุดทดสอบโดยมีระยะความสูงจากพื้น 1 เมตร
5. หากมีสิ่งกีดขวางในบริเวณจุดทดสอบจะต้องตั้งมิเตอร์ให้อยู่เหนือสิ่งกีดขวาง 6 นิ้ว
6. การอ่านจะถูกบันทึกหลังจากค่าที่อ่านได้มีเสถียรภาพ โดยอุณหภูมิเฉลี่ยและความชื้นสัมพัทธ์ของห้องคลีนรูมจะถูกคำนวณหาค่าเฉลี่ยจากข้อมูลที่ได้

 

8. การทดสอบระดับความเข้มแสงภายในห้อง (Lighting Level Test)

การตรวจวัดระดับความเข้มของแสงสว่างและความสม่ำเสมอของแสงภายในห้องคลีนรูมเพื่อกำหนดระดับความเข้มของแสงที่ระดับความสูงในการทำงานภายในห้องสะอาด โดยมีขั้นตอนการทดสอบดังนี้

1. การทดสอบระดับความเข้มแสงจะต้องมีการใช้งานหลอดฟลูออเรสเซนต์ทั้งหมดเป็นเวลาอย่างน้อย 100 ชั่วโมง และก่อนเริ่มทดสอบจริงควรให้แสงสว่างเปิดอย่างต่อเนื่องเป็นเวลาอย่างน้อย 2 ชั่วโมงเพื่อให้อุณหภูมิคงที่
2. แบ่งพื้นที่ห้องสะอาดออกเป็นตารางทดสอบแต่ละจุดให้มีพื้นที่ไม่เกิน 40 ตารางเมตร

 

9. การทดสอบระดับเสียงภายในห้อง (Sound Level Test)

การทดสอบระดับความเข้มเสียงภายในห้องสะอาด (Sound Level Test) เพื่อวัดระดับความดันเสียงในการทำงานของระบบภายในห้องคลีนรูม โดยมีขั้นตอนการทดสอบดังนี้

1. ปรับสมดุลอัตราการไหลของอากาศก่อนเริ่มทำการทดสอบระดับเสียงภายในห้อง
2. อุปกรณ์ปรับอากาศทั้งหมดจะต้องถูกเปิดก่อนที่จะอ่านค่าการทดสอบ
3. แบ่งพื้นที่ห้องสะอาดออกเป็นตารางทดสอบ โดยแต่ละจุดให้มีพื้นที่เท่ากันไม่เกิน 40 ตารางเมตร
4. เครื่องวัดจะต้องสูงจากพื้นประมาณ 1.2 เมตร และห่างจากผนัง เสา หรือพื้นผิวขนาดใหญ่ที่มีผลต่อการเปลี่ยนแปลงของเสียงอย่างน้อย 0.9 เมตร และหากมีอุปกรณ์หรือเฟอร์นิเจอร์กีดขวางอยู่ให้วัดจากสิ่งกีดขวาง 150 มม. โดยให้อยู่ภายในระนาบเดียวกัน
5. การอ่านค่าจะถูกบันทึกหลังจากค่าคงที่แล้ว

 

Q&E INTERNATIONAL ให้บริการทดสอบห้องคลีนรูม Cleanroom Performance Testing (CPT) ด้วยมาตรฐานสากล NEBB 

Q&E INTERNATIONAL ผู้นำด้านบริการทดสอบและตรวจสอบคุณภาพห้องคลีนรูม (Cleanroom Testing) โดยมุ่งมั่นนำเสนอบริการทดสอบห้องคลีนรูมแบบครบวงจร ด้วยมาตรฐานสากลจากสถาบัน NEBB เพื่อช่วยให้คุณมั่นใจในประสิทธิภาพการใช้งานห้องคลีนรูมให้เป็นไปตามมาตรฐานที่กำหนดไว้

 

ติดต่อเรา Q&E INTERNATIONAL ได้ที่ช่องทาง

Call: 095-748-7312, 081-595-3011

LINE ID: @248hrupy

Facebook: บริษัท คิว แอนด์ อี อินเตอร์เนชั่นแนล จำกัด 

Email: [email protected], [email protected]